下载复合能量场辅助激光诱导等离子体加工装置及方法的技术资料

文档序号:32889266

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本发明公开了复合能量场辅助激光诱导等离子体加工装置及方法,加工装置包括激光器、透镜组件和工作台装置;工作台装置包括安装工作台、磁场辅助装置、振动工作台、驱动器和金属靶材;通过振动工作台带动透明工件一维振动,驱动器带动金属靶材绕自身轴线转动,...
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