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本实用新型公开了一种微波等离子腔体双密封炉门结构，解决现有多模非圆柱谐振腔(碟形腔)MPCVD装置密封尺寸过大、密封性能欠佳的技术问题。本实用新型包括由上至下相互连通的生长腔室和连通腔室、设于生长腔室内的水冷基台，设于水冷基台上用于放置金刚...
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