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本发明公开了一种晶圆片花篮夹取防脱落且带报警功能的机械手，包括固定在升降轴上的旋动组件、旋转杆、轴承定位座、缓冲组件和取放晶圆片花篮的夹持组件，以及报警闪光灯和触动传感片，旋动组件包括顶推气缸、斜面滑块、左右对称布置的旋转座、销轴、滚动圆球...
该专利属于智程半导体设备科技（昆山）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过智程半导体设备科技（昆山）有限公司授权不得商用。

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