下载雪崩光电探测器及其制备方法的技术资料

文档序号:32860226

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本发明提供了雪崩光电探测器及其制备方法。其中,雪崩光电探测器包括:衬底,其表面包括第一半导体层;位于衬底之上的第二半导体层,第一半导体层包括第一方向上依次排列的第一P型掺杂区、第二P型掺杂区、第三N型掺杂区、第一本征区、第三P型掺杂区、第二...
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