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本发明公开了一种光掩膜基板标记尺寸测试系统，包括三维移动平台、光源、聚焦透镜、相机、计算机和控制器；所述三维移动平台的中部设有透明且透光的固定板；待测试的光掩膜基板安装在固定板上；所述光源位于固定板的下方，所述聚焦透镜位于光掩膜基板的上方；...
该专利属于长飞光纤光缆股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过长飞光纤光缆股份有限公司授权不得商用。

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