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本发明公开了一种使用石墨坩埚的中频炉炉衬结构及其制作方法，包括：石墨坩埚；底层，所述底层位于所述石墨坩埚的下方；侧壁耐火绝缘层，所述侧壁耐火绝缘层包围所述石墨坩埚的侧壁，且底部与所述底层相连，形成以不透气的容器；感应线圈，所述感应线圈套设在...
该专利属于长沙新立硅材料科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过长沙新立硅材料科技有限公司授权不得商用。

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