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一种晶圆平坦化工序中作为连接件的双面吸附装置制造方法及图纸
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下载一种晶圆平坦化工序中作为连接件的双面吸附装置的技术资料
文档序号:32855021
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一种晶圆平坦化工序中作为连接件的双面吸附装置,包括具有一定厚度的吸附本体,具有上下两个端面。吸附本体的上端面作为吸附抛光头的上吸附区,下端面作为吸附晶圆的下吸附区;内部设有气流通道。上吸附区开设有多组同心圆凹槽,圆凹槽均与气流通道连通;下吸...
该专利属于湖北江城实验室所有,仅供学习研究参考,未经过湖北江城实验室授权不得商用。
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