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一种激光器光束质量综合检测装置及方法制造方法及图纸
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下载一种激光器光束质量综合检测装置及方法的技术资料
文档序号:32834076
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本发明涉及一种激光器光束质量综合检测装置及方法,属于激光器技术领域。激光器一侧依次设有光学隔离器、光学衰减器、分光棱镜;所述的分光棱镜的一侧出口依次设有小孔光阑、接收屏,所述的接收屏的一侧设有电动位移平台;所述的电动位移平台上设有CCD相机...
该专利属于苏州众烁云辉科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州众烁云辉科技有限公司授权不得商用。
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