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本发明公开了一种干法晶圆片清洗设备，包括清洗箱体和晶圆翻转装置，晶圆翻转装置设置于清洗箱体；清洗箱体中设置逐层折返的气体回路；晶圆翻转装置包括翻转机构和抬升机构，翻转机构滑动设置于清洗箱体，抬升机构连接翻转机构，抬升机构位于初始位置时晶圆片...
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