下载隔膜式微流控控制装置的技术资料

文档序号:32830115

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本发明涉及到一种流体控制装置用芯片,具体地说,涉及一种隔膜式微流控控制装置,其包括芯片基板和沟道凹版,芯片基板和沟道凹版之间设置和芯片基板紧密贴合的柔性膜,沟道凹版和芯片基板对应的面设置沟槽,本技术方案的隔膜式微流控控制装置,将沟槽外置,实...
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