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本发明涉及一种等离子体静电探针校准用模拟负载，包括可调精密恒压源、MOSFET模块、二极管阵列、相位补偿过压保护网络、屏蔽机箱和同轴接头，二极管阵列用于产生单向导通且随电压指数增长的探针电流，以模拟探针过渡区的电流信号，MOSFET模块用于...
该专利属于北京东方计量测试研究所所有，仅供学习研究参考，未经过北京东方计量测试研究所授权不得商用。

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