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本实用新型公开了一种棱镜模组及检测设备。本实用新型实施例中的棱镜模组,通过容纳腔的腔壁上的多个棱镜的反射作用,各个棱镜分别可以将所相对的待测器件的表面的镜像反射至背离底壁的一侧。本实用新型中棱镜模组应用于本实用新型中的检测设备之中,当从容纳...该专利属于深圳市格灵精睿视觉有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳市格灵精睿视觉有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开了一种棱镜模组及检测设备。本实用新型实施例中的棱镜模组,通过容纳腔的腔壁上的多个棱镜的反射作用,各个棱镜分别可以将所相对的待测器件的表面的镜像反射至背离底壁的一侧。本实用新型中棱镜模组应用于本实用新型中的检测设备之中,当从容纳...