下载化合物、包含其的缓蚀剂组合物、缓蚀剂的制备方法和用途的技术资料

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本发明涉及化合物、包含其的缓蚀剂组合物、缓蚀剂的制备方法和用途。本发明提供了由通式1表示的化合物,其中,n为整数,且2≤n≤5。本发明还提供一种缓蚀剂组合物,该组合物包含第一阻垢剂,该第一阻垢剂为通式1表示的化合物,优选组合物中第一阻垢剂的...
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