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本发明的接触件通过在金属弹簧膜的表面层叠形状记忆合金膜而构成，其形状为圆锥螺旋状。其制造方法包括金属牺牲膜的制造工序、抗蚀锥形成工序、抗蚀膜图案形成工序、形状记忆合金膜制造工序等１１个工序。由于有机系抗蚀剂材料不具有耐热性，所以，预先形成金...
该专利属于阿尔卑斯电气株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过阿尔卑斯电气株式会社授权不得商用。

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