下载一种改善绝缘基体表面耐磨防护涂层结合强度的方法的技术资料

文档序号:32736149

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本发明公开一种改善绝缘基体表面耐磨防护涂层结合力的方法,基体清洗;强束流氩离子轰击;制备纯金属Ti过渡层;制备AlTiN耐磨防护涂层;本发明用柱弧辅助增强氩离子复合清洗,实现弧光和辉光协同放电,提高等离子体密度和能量,改善涂层与绝缘基体的界...
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