下载基于霍尔元件的缺陷检测装置的技术资料

文档序号:32699469

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本实用新型的实施例公开了一种基于霍尔元件的缺陷检测装置。所述缺陷检测装置包括:基板;磁传感器,所述磁传感器位于基板的一个表面并且包括成预定图案排布的至少两个霍尔元件;环形激励线圈,位于所述磁传感器的周围;信号采集模块,临近磁传感器并且位于基...
该专利属于苏州矩阵光电有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州矩阵光电有限公司授权不得商用。

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