下载一种芯片老化试验装置的技术资料

文档序号:32684294

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本发明涉及一种芯片老化试验装置,包括箱体、至少一个测试组件,每个测试组件均包括测试腔、循环风道、第一蜂窝板、第二蜂窝板,测试腔内设有若干测试区,每个测试区的两侧内壁均开设有出风口和回风口,第一蜂窝板设置在出风口的沿气流方向的上游的一侧,第二...
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