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本发明公开了一种在微负压的条件下利用热等离子体辅助加工硅粉与金属粉体,促使硅粉与金属粉体连续反应生成金属硅化物粉体,并以该金属硅化物粉体作为原料在特定溶剂中与强酸反应制备乙硅烷的方法及实现该方法的反应系统。本发明利用热等离子体的高能量密度,...该专利属于全椒亚格泰电子新材料科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过全椒亚格泰电子新材料科技有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种在微负压的条件下利用热等离子体辅助加工硅粉与金属粉体,促使硅粉与金属粉体连续反应生成金属硅化物粉体,并以该金属硅化物粉体作为原料在特定溶剂中与强酸反应制备乙硅烷的方法及实现该方法的反应系统。本发明利用热等离子体的高能量密度,...