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一种集成光敏电阻和热敏电阻的微环、波长锁定系统及方法技术方案
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下载一种集成光敏电阻和热敏电阻的微环、波长锁定系统及方法的技术资料
文档序号:32657911
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本发明公开了一种集成光敏电阻和热敏电阻的微环、波长锁定系统及方法,微环包括微环本体、微加热器、热敏电阻层、光敏电阻层、上直波导、下直波导、直通端、下载端以及输入端;微环本体在具有绝缘体硅晶片上使用电子束光刻的方式来进行定义图案,采用电感耦合...
该专利属于暨南大学所有,仅供学习研究参考,未经过暨南大学授权不得商用。
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