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本发明涉及一种外硬内韧氮化硅陶瓷及其制备方法。所述外硬内韧Si3N4陶瓷包含三层氮化硅陶瓷；其中，中间层为内层，上下两层为外层；所述内层的主相为β
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该专利属于中国科学院上海硅酸盐研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院上海硅酸盐研究所授权不得商用。

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