下载一种磁控溅射卷绕镀膜设备的镀膜室的技术资料

文档序号:32607809

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本公开的实施例提供了一种磁控溅射卷绕镀膜设备的镀膜室。所述镀膜室包括镀膜辊、输入导辊、输出导辊;腔室,其用于容纳所述镀膜辊、输入导辊和输出导辊,并在其侧壁安装多个朝向所述镀膜辊的阴极;所述输入导辊和输出导辊均设置在所述镀膜辊的下侧;和,真空...
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