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本实用新型公开了一种分光机的准确排测分料装置,包括固定架、导料管、驱动轴和接料盘,驱动轴位于导料管与接料盘之间,设置在固定架上;驱动轴包括第一驱动轴和第二驱动轴,第一驱动轴和第二驱动轴垂直设置,运动件安装在第二驱动轴上,且第一驱动轴和第二驱...该专利属于深圳市凯创半导体设备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳市凯创半导体设备有限公司授权不得商用。
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