下载一种真空系统大电流引入及装夹电极距离连续可调装置的技术资料

文档序号:32602431

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本实用新型涉及一种真空系统大电流引入及装夹电极距离连续可调装置,包括真空腔体、引入电极、绝缘垫片、装夹电极,所述真空腔体中开设有电极引入密封法兰,绝缘垫片与电极引入密封法兰之间通过O型圈及螺丝锁固达成密封,所述引入电极开设有螺纹及方杆,引入...
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