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一种提升熔石英元件损伤阈值的加工方法，对熔石英元件进行清洗后，使用特定气体流量配比和功率的大气等离子体，处理精密抛光后熔石英元件一定时间，不改变熔石英元件的面形，明显提升熔石英元件的损伤阈值。本发明具有成本低、操作简单、高效快速的特点，在不...
该专利属于上海恒益光学精密机械有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海恒益光学精密机械有限公司授权不得商用。

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