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本实用新型实施例公开了一种内设储水槽的MEMS充油压力传感器，包括焊环、金属膜片、基座、钢球、通气管，焊环、金属膜片、基座、钢球焊接形成一个密闭的下腔体，下腔体内填充硅油，下腔体内通过密封硅胶粘接有压力芯片，基座上设有电路板，压力芯片连接电...
该专利属于深圳瑞德感知科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳瑞德感知科技有限公司授权不得商用。

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