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基于AFM敲击加工轨迹测压电剪切叠堆高频运动位移的方法，属于压电驱动技术领域。它能够实现以半接触的方式对其二维高频复杂运动的准确检测。该方法，包括以下步骤：S1.制备PMMA薄膜；S2.搭建加工装置，将PMMA薄膜安装在加工装置上；S3.A...
该专利属于东北林业大学所有，仅供学习研究参考，未经过东北林业大学授权不得商用。

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