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本实用新型公开了一种等离子体CVD设备的微波输入机构，CVD设备的腔体由底板、侧壁及顶盖围合构成内腔，内腔下部设有用于放置基材的内台，内台通过绝缘环支撑在底板上，底板的中部设有通孔，微波输入机构包括输入波导管，输入波导管与波导同轴转换部件连...
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