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一种氧传感器的制造方法，采用模压成形和预置烧结工艺技术制作氧化锆薄片并在薄片上形成一个扩散孔，在该氧化锆薄片两侧印刷两个电极，其中一个电极处于一个扩散室中，采用厚膜微电子工艺技术制作一个加热器为该氧传感器加热。通过该方法制得的氧传感器，由于...
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