下载一种可调式光学限位机构和限位方法的技术资料

文档序号:32541193

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本发明公开了一种可调式光学限位机构和限位方法,包括底座,底座上设有竖直布置的直线电机,直线电机的输出块上通过连接座设有光学平台,光学平台的下方设有第一激光光路和第二激光光路;第一激光光路沿光学平台的运动方向布置,第二激光光路垂直于光学平台的...
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