下载屏蔽栅沟槽型场效应晶体管的结构参数优化方法的技术资料

文档序号:32532312

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本申请是关于一种屏蔽栅沟槽型场效应晶体管的结构参数优化方法。该方法包括:获取既定结构参数和初始待定结构参数;提取晶体管的峰值电场路径;在峰值电场路径上截取若干个采样点;基于若干个采样点的碰撞电离积分,生成碰撞电离积分分布曲线;判断碰撞电离积...
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