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本发明涉及一种用于化学机械研磨设备的研磨头的挡圈，包括：金属材料环；以及塑料嵌包结构，所述塑料嵌包结构嵌包所述金属材料环，并且所述塑料嵌包结构通过耦合结构与所述金属材料环连接；其中，所述挡圈设置有贯穿其内外侧壁的至少一个通孔。本发明的挡圈通...
该专利属于北京子牛亦东科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京子牛亦东科技有限公司授权不得商用。

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