下载一种单晶硅生产用排气式石墨坩埚的技术资料

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本实用新型涉及一种单晶硅生产用排气式石墨坩埚,炉体内设保温筒,炉体与保温筒之间设保温毡,保温筒内设加热器,加热器固定在炉体底部且与炉体底部的加热电极相连接,炉体下表面中部贯穿固定坩埚轴,坩埚轴上端设坩埚托盘,坩埚托盘上表面放置石墨坩埚,石墨...
该专利属于山东恒圣石墨科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过山东恒圣石墨科技有限公司授权不得商用。

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