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着脱装置制造方法及图纸
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下载着脱装置的技术资料
文档序号:32525189
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本发明提供一种着脱装置,其利用静电吸盘方式,且即便为厚度薄的工件,工件着脱的响应性也优异。一种着脱装置,能够进行工件的吸附与脱离,其特征在于,所述着脱装置包括:可加工陶瓷层;密接活化层,设置于所述可加工陶瓷层上;电极层,设置于所述密接活化层...
该专利属于创意科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过创意科技股份有限公司授权不得商用。
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