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本发明公开了一种低频振动环境的宽频域振动能采集装置及制备方法，它包括：振动能量转换器、硅质量块、平板电容上电极支撑、基座；硅质量块和平板电容上电极支撑设在振动能量转换器上；振动能量转换器包括：SOI基板、硅梁、梳齿电容弹簧、梳齿支撑杆、叉指...
该专利属于吉林大学所有，仅供学习研究参考，未经过吉林大学授权不得商用。

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