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本发明公开了一种气密性检测设备及其工艺，该设备包括：真空箱、多个封闭件、检测管路、多个阀门、真空源以及检漏仪。真空箱具有多个分体腔以及与多个分体腔相连的通腔，分体腔用于放置待检测工件并具有连通通腔的开口。封闭件与分体腔数量相同，且一一对应设...
该专利属于上海贤日测控科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海贤日测控科技有限公司授权不得商用。

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