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根据某些实施例，一种微机电系统(MEMS)装置具有带可转动镜的微机电系统镜结构。该镜的转动产生与转动角度对应的测得电容的变化。该微机电系统结构位于沉积在衬底上的氧化物层上。在微机电系统镜结构和衬底之间存在寄生电容。在衬底和直流电压源之间提供...
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