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用于在金刚石层中产生至少一个确定性色心的方法技术
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文档序号:32506612
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本发明涉及用于在金刚石层中产生至少一个确定性色心的方法。通过在第一步骤中将至少一种掺杂剂注入到金刚石层中并在第二步骤借助于低能离子轰击将至少一个杂质原子掺合到金刚石层中以形成色心,可以实现大于70%的非常高的转化率。与转化率只约为6%的未掺...
该专利属于量子技术UG(极限)公司所有,仅供学习研究参考,未经过量子技术UG(极限)公司授权不得商用。
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