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一种玻璃大幅面激光切孔方法技术
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文档序号:32498158
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本发明涉及材料激光加工工艺领域,一种玻璃大幅面激光切孔方法,使用激光扫描光束焦于玻璃工件的下表面进行材料蚀除,在聚焦激光束快速扫描的过程中三维运动平台带动玻璃工件沿着设定的切割轨迹在xy平面内移动形成大幅面切缝,完成一次扫描后三维运动平台移...
该专利属于华中科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过华中科技大学授权不得商用。
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