下载一种晶片周边绝缘保护层喷涂装置及方法的技术资料

文档序号:32485502

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本发明公开了一种晶片周边绝缘保护层喷涂装置及方法,包括加工箱和设置在其下端的若干个支腿,每个支腿下端都设有一个支撑座,所述加工箱内部设有用于对晶片进行喷涂的喷涂组件和用于对晶片进行夹持定位的夹持组件,所述夹持组件包括左右对称设置的夹持定位架...
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