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本发明公开了过滤阴极电弧法制备高性能BaSnO3基透明导电薄膜，包括以下步骤：在玻璃或塑料基底制备多晶BaSnO3薄膜，可以作为薄膜晶体管的绝缘层应用、在玻璃或塑料基底制备多晶BaLaSnOx薄膜，可以作为薄膜晶体管的有源层和电极层应用、在...
该专利属于深圳戴尔蒙德科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳戴尔蒙德科技有限公司授权不得商用。

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