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受应力的薄膜隔膜岛制造技术
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文档序号:3247273
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一种结构包括:限定开口的支承物;以及被设置以阻塞该开口的受拉应力薄膜隔膜,该隔膜接触支承物的至少一部分。受应力隔膜包括这样的材料,该材料的特有裂缝间隔大于隔膜的最小尺寸的二分之一并且小于最小尺寸的十倍。一种结构包括:限定具有最小开口尺寸的开...
该专利属于利利普田系统公司所有,仅供学习研究参考,未经过利利普田系统公司授权不得商用。
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