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本实用新型公开了一种卷绕式镀膜设备用隔离阀,属于镀膜设备技术领域,本实用新型包括下闸板,固定安装在真空腔室内部,用于承载镀膜,包括上闸板,转动连接在所述下闸板上,用于活动封闭与所述下闸板之间的间隙,包括橡胶膜组件,布设在所述下闸板和所述上闸...该专利属于深圳市新邦薄膜科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳市新邦薄膜科技有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开了一种卷绕式镀膜设备用隔离阀,属于镀膜设备技术领域,本实用新型包括下闸板,固定安装在真空腔室内部,用于承载镀膜,包括上闸板,转动连接在所述下闸板上,用于活动封闭与所述下闸板之间的间隙,包括橡胶膜组件,布设在所述下闸板和所述上闸...