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本发明提供了一种光敏传感器,包括顶电极、底电极、空腔阵列、隔离层、若干倍增结构和若干导电结构。所述空腔阵列设置于所述顶电极和所述底电极之间,所述空腔阵列的顶面开口朝向所述顶电极,底面开口朝向所述底电极,形成若干空腔结构供所述光电子以及二次电...该专利属于上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司授权不得商用。
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本发明提供了一种光敏传感器,包括顶电极、底电极、空腔阵列、隔离层、若干倍增结构和若干导电结构。所述空腔阵列设置于所述顶电极和所述底电极之间,所述空腔阵列的顶面开口朝向所述顶电极,底面开口朝向所述底电极,形成若干空腔结构供所述光电子以及二次电...