下载一种离子掺杂钆镓石榴石晶片的加工方法的技术资料

文档序号:32458265

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本发明涉及一种离子掺杂钆镓石榴石晶片的加工方法,属于钆镓石榴石晶片的精密加工技术领域。且所述加工方法包括以下步骤:步骤一、机械研磨:室温下,得粗磨GGG晶片;步骤二、机械抛光:得机械抛光后的GGG晶片;步骤三、化学机械抛光:采用硅溶胶抛光液...
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