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本发明公开了一种多层薄膜的透射电镜样品及其制备方法：针对多层薄膜常规透射电镜样品制备过程中，出现不同膜层厚度不均等难点，本发明采用楔形透射电镜样品制备方法，可制备表面平整，基底与各膜层厚度均匀，且有大面积薄区的透射电镜样品。本发明适用于除金...
该专利属于西安交通大学所有，仅供学习研究参考，未经过西安交通大学授权不得商用。

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