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一种制造固体氧化物燃料电池电解质的方法，包括将基底预加热到大约１１００℃及更高的基底温度，氧化物电解质层会沉积到该衬垫上，在压力为１０↑［－３］或更低毫米汞柱、没有例如氧气等生产气体的抽空腔室内用电子束撞击包括氧化物的源极的表面，以在腔室内...
该专利属于豪梅公司所有，仅供学习研究参考，未经过豪梅公司授权不得商用。

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