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本发明公开了一种晶圆缺陷数据的聚类方法、装置、计算机可读存储介质及电子设备，方法包括：提取获取的待检测晶圆图中的晶圆缺陷对应的缺陷数据点；在不指定聚类个数的前提下，对多个缺陷数据点进行聚类，以确定至少一个聚类簇以及至少一个离群数据点，聚类簇...
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