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本发明提供一种低内损耗低电阻高效率半导体结构及其制备方法,包括:半导体衬底层;位于所述半导体衬底层上的第一限制层;位于所述第一限制层背离所述半导体衬底层一侧的第一波导层;位于所述第一波导层背离所述第一限制层一侧的有源层;位于所述有源层背离所...该专利属于苏州长光华芯半导体激光创新研究院有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州长光华芯半导体激光创新研究院有限公司授权不得商用。
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