温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种结晶方法，该方法包括提供具有硅薄膜的基板；将具有第一到第四块的激光掩模设置在该基板上，各块具有包括多个透射区和一个遮挡区的周期性图案；并且通过该激光掩模用激光束照射硅薄膜使其结晶。用这种方法结晶的多晶硅薄膜基本上没有照射标记...
该专利属于乐金显示有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过乐金显示有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。