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本发明公开了一种通过向基板上喷射含有压电材料颗粒的气溶胶而在基板上制造压电膜的方法，其包括第一膜形成步骤，在基板上形成第一压电层；和第二膜形成步骤，在第一压电层上形成第二压电层，其中在第一和第二膜形成步骤中，当颗粒与基板或第一压电层碰撞时，...该专利属于兄弟工业株式会社;独立行政法人产业技术综合研究所所有，仅供学习研究参考，未经过兄弟工业株式会社;独立行政法人产业技术综合研究所授权不得商用。